半导体器件静电放电模拟器

ESS-6002 /6008

半导体器件

静电放电模拟器

●最小10V输出，可进行1V步进设定，最适合用于敏感元件的评价试验。

　（ESS-6002）

●最大8KV输出，可进行10V步进设定，可进行破坏性试验。（ESS-6008）

●通过使用简易放电板，可以用IC放电夹直接放电

●通过使用半自动精密型探针台，可半自动的进行定量的放电。

●可进行人体模型（HBM）、机械模型（MM）试验

●能在端口间正确地施加标准波形

●通过主端口，可确认放电后的特性变化

●可设定高速上升时间。（选件）

人体模型试验 (HBM) 探针台（半自动精密型探针台）

AEC-Q100-002-Rev.D Jul.2003

ESDA ANSI/EOS/ESD-STM5.1-2001

IEC61340-3-1Ed.1.0 2002

IEC60749-26 Ed.1.0 2003

JEDEC JESD22- A114E Jan.2007

JEITA EIAJ ED-4701/300 Aug.2001 Test Method304

MIL-STD-883F 3015.7 Mar.1989

机械模型试验 (MM)

AEC-Q100-003-REV -E Jul.2003

ESDA ANSI/ ESD STM5.2-1999

IEC61340-3-2 Ed.1.0-2002

IEC60749-27 Ed.1.0 2003

JEDEC JESD22- A115A Oct.1997

JEITA EIAJ ED-4701/300 Aug.2001 Reference Test Method

特征

项目 功能/性能

输出电压 10～2000V±10％（ESS-6002） 1V步进

100～8000V±10％（ESS-6008） 10V步进

输出极性 正或负

重复周期 0.3～99s±10％

到10s为止0.1s步进 10s以后1s步进

放电次数 1～99次/连续

外部触发输入 最大±15V，BNC接口

通过TTL下降时间来控制（100us以上的LOW或者端口间短路）

触发输出 输出阻抗50Ω，TTL高脉冲5ms，BNC接头

探针台控制 和探针台选件（精密型探针台），型号：18-00076A连接后控制，Dsub接头

ITERLOCK 端口台、端口间开路时试验停止（出货时标配短路棒）

驱动电源 AC100～240±10％ 50Hz/60Hz

功耗 25VA

使用温度范围 15～35℃

保管温度范围 -10～50℃

使用湿度范围 25～75％RH（不结霜）

保管湿度方位 0～85％RH（不结霜）

尺寸 （W）340×(H)×199×（D）300mm（不含突起部分）

重量 约6kg

规格

对应标准

商品名称 数量

人体模型（HBM）放电探针（型号 01-00054A） 1

机械模型（MM）放电探针（型号 01-00055A） 1

（波形调整用标准卡2张 型号 06-00065A）

AC电源线 1

操作说明书 1

半导体器件

静电放电模拟器

■输出波形

HBM 探针

短路时输出波形

电压 第一次峰值电流 第二次峰值电流 周期 振铃波

lp 1 lp 2 Irs

100V 1.75A±10%

200V Min : 3.5A -10%

Max.: 3.8Z Min : 67% of Ip 1 Min : 66ns ≦30% of Ip 1

400V 7.5A±10% Max : 90% of Ip 2 Max : 90nx

800V 14A±10%

500Ω负载时输出波形（500Ω±1％）

电压 峰值电流 100ns时的电流 200ns时的电流

lpr 1100nx 1200ns

100V — — —―

200V — — —

400V Min : 0.85A 0.29A±10% Min : 35% of 100ns

Max : 1.1745A Max : 45% of 100ns

800V — —

* 输出电压根据主机（ESS-6002/6008）而定

MM 探针

项目 规格

使用温度/湿度范围 15～35℃/25～75％RH（不结霜）

尺寸/重量 （W）50×(H)×242×（D）54mm（不含突起部分）/约760g

CR C:200pF±10％，R：0Ω

机械模型（MM）探针 01-00055A

项目 规格

使用温度/湿度范围 15～35℃/25～75％RH（不结霜）

尺寸/重量 （W）50×(H)×242×（D）54mm（不含突起部分）/约760g

CR C:100pF±10％，R：1,5kΩ±1％

短路时输出波形

电压 峰值电流 上升时间 下降时间 振铃波

lps Trs Tds Irs

250V 0.17A±10%

500V 0.33A ±10%

1000V 0.67A±10%

Min : 2ns Min : 1.3ns

2000V 1.33A±10% Max : 10ns Max : 1.7nx <15% of Ips

4000V 2.67A±10%

8000V 5.33A±10%

500Ω负载时输出波形（500Ω±1％）

电压 峰值电流 Ipr/Ips 上升时间 下降时间Tdr 振铃波

lpr Trs Tds Irs

250V — — — — —

500V min：60% of Ips ≧63％ 5～25ns 200ns±40ns ≦15%

max：0.25A-25%

1000V min：60% of Ips ≧63％ 5～25ns 200ns±40ns ≦15%

max：0.5A-25%

2000V min：60% of Ips ≧63％ 5～25ns 200ns±40ns ≦15%

max：1.0A-25%

4000V min：60% of Ips ≧63％ 5～25ns 200ns±40ns ≦15%

max：2.0A-25%

8000V — — — — —

* 输出电压根据主机（ESS-6002/6008）而定

人体模型（HBM）探针 01-00054A

前面板

■简单的操作性数字显示：进行输出电压、放电间隔、放电次数等显示

极性切换键：选择放电电压的极性

▼▲上下键：改变选择的值，一直按住快速增减。

测试等级键：调节HRM、MM的电压值

CALL键：可登记5个试验条件

SWEEP键：以设定的步进从开始电压～终止电压进行扫描

MEASURE键：试验前后，切换到DUT的测试用BNC端口

ESD键：选择试验设定项目的VOLTAGE、INTERVAL、COUNT

START键：试验开始

STOP键：试验停止

EXT TRIG键：在外部信号输入时，试验开始